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二手设备│DISCO 减薄机现货待售!


Fully Automatic Grinder / Polisher

DISCO DGP8761 全自动减薄机

追求更高效率的300mm研磨拋光机



提高加工稳定性,实现更高产能效率
DGP8761是全球销售业绩突出的DGP8760的改良机型。本机型实现了背面研磨到去除参与应力技术的一体化,可以稳定地实现厚度在25 μm以下的薄型化加工。还配置了新开发的主轴,适用于高速研削加工。有助于缩短薄型晶圆的加工时间(于DGP8760相比较)。另外,合理配置搬运机构的布局,缩短了加工以外的生产時間。
第三主轴的多样应用
用于薄晶圆加工的第3个主轴用途包括以下內容。
去除残余应力
环保,不使用药液、水的「干式拋光加工」
CMP(特殊选项)
超精密研磨加工(特殊选项)
●Poligrind
●UltraPoligrind


工作流程系统
①用机械手臂将工作物从储料盒中取出,放到中心定位台上进行中心定位、
②用T1取物手臂将工作物搬运到工作台上→
③进行粗研磨加工→
④进行细研磨加工→
⑤进行干式抛光加工(去除残余应力)→
⑥用T2取物手臂将工作物从工作台移到离心清洗台上→
⑦进行清洗→干燥→
⑧移到贴膜机上(DFM2700、DFM2800)。
或者由机械手臂将工作物送回到储料盒。



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